一种提高高精度光学元件反射率/透射率的测量方法
目前光学元件反射率/透过率的测量方法主要有分光光度法,激光比率测量法和光腔衰荡法。光腔衰荡法是目前公认能够测量超高反射率的唯一方法,其通过测量激光在谐振腔的衰荡特性来测量反射率,其局限在于测量范围,只有极高反射率的光学元件才适用该方法。分光光度计作为反射率/透过率测量最常用的方法,从原理上讲,其反射率/透射率测量主要通过测量反射光/透射光和入射光能量并计算其比值得到。该方法的检测限由激光光源的相对强度噪声、检测器在测量频率处的等效噪声功率与入射功率之比以及测量时间决定。 技术实现要素: 4.以鉴于此,为了研究高精度反射率/透射率测量技术,本发明采用国际标准iso15368分光光度测量原理,提出了如下方法: 5.采用光强调制方法,除了传统的单一频率的调制信号之外,附加伪随机码调制(例如巴克码)减少激光器和检测器1/f噪声对测量的影响,提升抗干扰能力,以提高检测精度; 6.利用数字相关累积技术,很大程度抑制了噪声的影响,提高了检测精度; 7.通过双光路(参考光路和测量光路)的设计、双通道同步检测,进一步消除通带内光功率波动对测量的影响;